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三星電容代理的立體結構

作者: 發布時間:2020-09-23 09:45:11點擊:463

三星電容代理同平面螺旋結構的電感相比,三維結構的螺線管微電感由于采用了立體結構,螺線管型微電感器所產生的磁通是平行于基片平面的,所以高頻磁通在基片上產生的渦流損失比磁通垂直于基片的平面線圈結構微電感的要小,底導線與襯底的接觸面積較小,寄生三星電容代理和寄生電用引起的寄生損耗降低,提高了電夠的Q值。為了提高螺線管微電感的性能,本文研究了微電感的集總數電路模型以及其MEMS制作技術,設計并制作了射頻螺線管微電感。另外,射頻電路需要可調范圍大、高Q值的可變三星電容代理器,以實現寬頻調變和有關電路功能。與傳統的變容二極管相比,HNEIBS技術制作的微機械可謂電存沒有靜態電流,信號損耗較小、Q值較高、調節范圍更寬,在射頻下具有很小的損耗,從而可以降低電路的損耗,提高電路的優值,可替代片外壓控變容:極管 來實現射頻壓控振高器、通諧濾波器等的單片要成。本文采用AtO,作 為犧牲層,利用螺線管微電感相似的MEMSI藝制作出高性能的可變微機械三星電容代理。


隨著無線通信系統向小塑化、低電壓、低功耗、多功能、高性能和更高顧方向發展,現有的半導體工藝無法滿足射頻通信部件的高性能和小型化,導致現有的無線通傷系統體積龐大、成本高、工作頻率低,RF-MEMS采用MEMS技術研制各種無線通信器件及其集成模塊,RF-MEMS制作的器件不僅在體積上小于傳統的射頻器件,易于集成,而且性能也優于傳統的射頻器件,MEMS技術為實現無線通信系統的小型化、低功耗、高頰化提供了良好的解決方案。在RF MEMS元件中,電感和三星電容代理是重要的元器件,是濾波器、 諧振器的重要組成部分,影響普諧振電路、阻抗匹配網絡、放大器、壓控振蕩器的性能。因此,隨著對高頻電子器件的需求越來越大,提高和改善MEMS電感和MEMS三星電容代理的高頻性能已成為國內外學者的研究重點。

刻地、拋光技術和電健技術等,研制各種高性能的微電感和微三星電容代理。本文主要完成的工作和結論如下所述:螺線管微電感的建模和傷真利用微電感兩端口網絡模型和等效電路,從Ceaboue電感銀計舞公式和。值理論計算公式出發,采用Meat軟價進行編程,對繼線管做電感進行建模設計,與實驗越果相比權,對微電話優化設計上起到理論指導作用,研究和分析「線周結構羅數線面度教線強導體長度。發度和序度等對微電感的性能影響,并進行了優化設計、用HFSS軟行對微電感進行了傷真,從實驗施是值與理論計算值、仿真值對比可以看出。計算結果、仿真結果與

實仙要曲合得較好因此在今眉雅電感的應用時,可以根據實際度用要求,設計優化推電感的的性他,然后進行實驗臉證和制備,從而達到應用的目的。


三星電容代理考慮和分析了空芯爆線管微電感的幾何結構參數對微電感性能的影響,利用MEMS找術制作了不同兒何結構和村度的高性能射頻繼線管微電感,所沙及的MEMS工藝主要包括規射、協膠、光則、電話、干法測性、留法劃蝕和拋光等工藝。在制備過程中,解決了以下兩個關鍵制造技術,一是通過合理的施模版設計和雙面套則對準標記、多層深度光刻技術,解決了多層提展工藝中的套封問題和電使用的光刻膠模兒,獲得了較好的高深寬比光刻膠模具二是采用保層微電鑄工藝解決了微電感線圈的燒線和連線,通過在電鍍液中施加事加制的手段,實現了離深室比微小尺寸深度言孔的電鍍問題。這些微電感采用明線服以減小線面責生電愿,測試結果表明玻璃襯底上的微電感在較寬的工作頻率范圍內具有高Q值。在6CHz下,微電感Q峰值為38,對應的電感量為1.8inth硅村底上的微電感在較寬的工作額率范圍內也具有高Q值,2.3GHz下微電感Q峰值為32.8.對應的電感量為1.79nH. HFSS仿真站果與實驗結果大致相符,在2.3GHz下Q峰值為348,對應的電感量分別為1.68nH.(3)可變三星電容代理制備和測試




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