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三星電容代理微電感工藝

作者: 發布時間:2020-09-22 09:39:01點擊:453

三星電容代理和制作螺線管微電感工藝類似,利用MEMS技術制作了高性能的靜電驅動射頻可調微機械三星電容代理、司請微電存制作方法的更大優勢是利用AlO,作為犧牲層,可以很方便地控制微三星電容代理可動機板與固定極板的距離即空氣原的問距,而且AhO,根容易被KOH溶液刻蝕掉。結構金屬材料采用電鍍視,因為鎳在常溫下的應力比較低,這有利于微三星電容代理的結構可靠性。利陽WYKONT1100光學表面輪廓儀測量在不同外加直流電壓下可變三星電容代理的表面輪廓和位移等信息,測試結果表明有效長度為500um的方形板微三星電容代理吸合電壓為13.5V,在1GHz下電存值為0.79pF.品質囚數為51.6.三星電容代理可調比為1.311.在傳統平行板可變三星電容代理的理論基礎上,根據實際情況,引入了可動極板形變參數,對可動極板的形變進行了合理分析,對微三星電容代理的初始三星電容代理和吸合電壓進行了某些修正,給出了具體情況下的編移量。對于成功的MEMSB件來說,除了改進的實驗方法,還要對器件的行為進行探討,可變三星電容代理或開關中”一個明顯的現象就是吸合效應,為了達到平衡狀志,那電力與彈性支撐力要保持相等。


但是當外加電壓加到兩個極板后,靜電力增加要比線性彈性支撐力要快,當外加電壓超過個定值時, 平衡狀志敏打破,吸合現象就公發生,對于平行板可變三星電容代理這種質量,那黃用尼系快模型,特動力學方程進行近似展開并配合邊界條行,就得到可變三星電容代理的位稱和速度等力學參說,當沒有外加電壓時,可變三星電容代理的質量一彈黃.機尼系續處于穩定狀態,當加上外加電壓后敏總管能支律的可動根板向固定極板移動并達到其字衡位置,網時在穩定區域(線)出現種不穩定的區域為外加電樂逐漸增大時,位移還原增大,達我的平衡位置離可動極板的距離也越來越大,不平衡區城逐漸偏離于平衡區城(線)其至凸山實化。試明外加電壓灣人員道速度快速增大,外加電風達到吸合電樂時,那電力面過部黃的問復力??蓜訕O板就被吸附到固定極板,

隨著無線通信系統向小塑化、低電壓、低功耗、多功能、高性能和更高顧方向發展,現有的半導體工藝無法滿足射頻通信部件的高性能和小型化,導致現有的無線通傷系統體積龐大、成本高、工作頻率低,RF-MEMS采用MEMS技術研制各種無線通信器件及其集成模塊,RF-MEMS制作的器件不僅在體積上小于傳統的射頻器件,易于集成,而且性能也優于傳統的射頻器件,MEMS技術為實現無線通信系統的小型化、低功耗、高頰化提供了良好的解決方案。在RF MEMS元件中,電感和三星電容代理是重要的元器件,是濾波器、 諧振器的重要組成部分,影響普諧振電路、阻抗匹配網絡、放大器、壓控振蕩器的性能。因此,隨著對高頻電子器件的需求越來越大,提高和改善MEMS電感和MEMS三星電容代理的高頻性能已成為國內外學者的研究重點。


三星電容代理傳統的微機械電感多采用平面螺旋結構,存在著電感值低、寄生損耗大、占用芯片面積大等缺點。同平面螺旋結構的電感相比,三維結構的螺線管微電感由于采用了立體結構,螺線管型微電感器所產生的磁通是平行于基片平面的,所以高頻磁通在基片上產生的渦流損失比磁通垂直于基片的平面線圈結構微電感的要小,底導線與襯底的接觸面積較小,寄生三星電容代理和寄生電用引起的寄生損耗降低,提高了電夠的Q值。為了提高螺線管微電感的性能,本文研究了微電感的集總數電路模型以及其MEMS制作技術,設計并制作了射頻螺線管微電感。另外,射頻電路需要可調范圍大、高Q值的可變三星電容代理器,以實現寬頻調變和有關電路功能。與傳統的變容二極管相比,HNEIBS技術制作的微機械可謂電存沒有靜態電流,信號損耗較小、Q值較高、調節范圍更寬,在射頻下具有很小的損耗,從而可以降低電路的損耗,提高電路的優值,可替代片外壓控變容:極管 來實現射頻壓控振高器、通諧濾波器等的單片要成。本文采用AtO,作 為犧牲層,利用螺線管微電感相似的MEMSI藝制作出高性能的可變微機械三星電容代理。



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